關(guān)鍵尺寸測量的一個重要原因是要達到對產(chǎn)品所有線寬的精確控制，因為芯片關(guān)鍵尺寸的變化通常顯示出半導(dǎo)體制造工藝中一些關(guān)鍵環(huán)節(jié)的不穩(wěn)定性。 關(guān)鍵尺寸測量需要精度和準(zhǔn)確性優(yōu)于2nm的測量儀器，能夠獲得這種測量水平的儀器是掃描電子顯微鏡（SEM）。

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